MINI Hybrid Hexapod

ALIO 的 MINI Hybrid Hexapod® 是自動鏡頭對準/綁定到 CCD 陣列的理想選擇。

它有助於構建相機陣列模塊、平移 OIS、用於手機相機和無人機等日常產品中

使用的微型相機的伸縮式集成鏡頭。任何需要 6 自由度定位以及奈米/弧秒級

增量運動和可重複性的應用都非常適合該產品，因為產品傳感器分辨率的提高

推動了對更高精度的需求。

AngularesTM

Hybrid Hexapod

Angulares TM  Hybrid Hexapod®的 60 度傾斜行程是迄今為止市場上任何 6

自由度 (6-DOF) 定位器所能提供的最大角度行程範圍，並提供無與倫比的

定位性能在任何 ALIO 的全系列混合六足系統中。它非常適用於非球面和

自由曲面光學計量、矽光子封裝和探測、激光微加工(非平面基板和錐度控制)

、晶圓計量、相機模塊對準和組裝、傳感器/圖像穩定測試和光學元件等應用

和光纖對齊。Angulares TM 具有精密交叉滾子軸承導軌、所有軸上的光學增量

或絕對編碼器反饋、線性電機和/或伺服滾珠絲槓驅動、無限制的可編程刀具中

心點位置和坐標偏移以及所有軸上的零背隙。該設計使 Angulares TM 能夠無限

進行 XY 行程，Z 行程為 62 毫米，使用其他三腳架型號可以增加到 208 毫米

，傾斜/傾斜行程為 60 度(+/- 30 度)，連續 360 度 Theta-Z , XYZ 雙向重複精度

小於 +/- 0.6 弧秒，速度高達 100 毫米/秒XY 和 Z，以及小於 10 奈米的線性

和 0.1 弧秒的角最小增量運​​動。

真空應用史都華平台

ALIO 廣泛的超精密和可重複運動控制解決方案(空氣軸承系統除外)是真空兼容

的。線性、旋轉、中空XY、六腳架、三腳架和測角儀平台和系統提供

HV (10-7 TORR) 或 UHV (10-10 TORR) 規格，採用超低釋氣材料和組件，全部經過

精心準備和烘烤。驅動機構、軸承、反饋系統、運動控制器和運動學結構都需要

完美設計，以滿足大氣或真空環境中的奈米精度。