RENISHAW (雷尼紹) VIONiC 增量式光學尺系統

 

VIONiC™ 數位增量式光學尺   

 

PDF下載: VIONiCTM Data sheet

VIONiC 光學尺系列是 Renishaw 最高效的增量式光學尺。透過優異的量測效能、高操作速度和卓越的可靠性，

可提供直接數位位置回饋。

VIONiC 讀頭整合 Renishaw 經市場認可的過濾光學鏡組與進階細分技術。因此，可提供超低細分誤差 (SDE)、

絕佳抗汙能力，且無須使用額外轉接器或獨立介面。

VIONiC 讀頭相容於多種線性、部分弧線和旋轉光學尺，從低膨脹係數的

ZeroMet™ 光學尺到高精確的 REXM 環皆適用。

 

 

特性

l 數位輸出，讀頭尺寸：35 x 13.5 x 10 mm

l 最小 2.5 nm 解析度

l 速度高達 12 m/s

l 超低的細分誤差 (SDE)：一般低於 ±15 nm

l 光學 IN‑TRAC™ 參考原點

雙限位

優勢

l 整合設定的LED安裝簡便

l 無需額外的轉接器或單獨介面

l 相容於進階診斷工具 ADTi-100，易於進行查錯，處理安裝與維修問題

l 可搭配多種線性、部分弧線和旋轉光學尺使用

 

 

 

超低細分誤差 (SDE)

VIONiC光學尺系列整合Renishaw獲市場肯定的過濾光學鏡組與訊號處理功能，

可實現優異的量測效能。

進階細分技術提供一般可低於±15 nm的超低細分誤差(SDE)，

為所有Renishaw光學尺中的最低數值。

 高速操作和精細解析度

 VIONiC 讀頭具備智慧型細分晶片以提供 2.5 nm 的精細解析度，並且在任何應用中皆提供高精度與重複性。

 光學尺提供 50 MHz 的最高時脈率，且速度高達 12 m/s。

 解析度為 0.1 µm 時的最高速度可達到 3.63 m/s，適用於半導體製程中的最高產量。

 

速度

時脈輸出選項

(MHz)

最高速度 (m/s)

最小邊緣區隔*

(ns)

D

(5 μm)

X

(1 μm)

Z

(0.5 μm)

W

(0.2 μm)

Y

(0.1 μm)

H

(50 nm)

M

(40 nm)

P

(25 nm)

I

(20 nm)

O

(10 nm)

Q

(5 nm)

R

(2.5 nm)

50

12

12

12

7.25

3.63

1.81

1.45

0.906

0.725

0.363

0.181

0.091

25.3

40

12

12

12

5.80

2.90

1.45

1.16

0.725

0.580

0.290

0.145

0.073

31.8

25

12

12

9.06

3.63

1.81

0.906

0.725

0.453

0.363

0.181

0.091

0.045

51.2

20

12

12

8.06

3.22

1.61

0.806

0.645

0.403

0.322

0.161

0.081

0.040

57.7

12

12

10.36

5.18

2.07

1.04

0.518

0.414

0.259

0.207

0.104

0.052

0.026

90.2

10

12

8.53

4.27

1.71

0.850

0.427

0.341

0.213

0.171

0.085

0.043

0.021

110

08

12

6.91

3.45

1.38

0.690

0.345

0.276

0.173

0.138

0.069

0.035

0.017

136

06

12

5.37

2.69

1.07

0.540

0.269

0.215

0.134

0.107

0.054

0.027

0.013

175

04

12

3.63

1.81

0.730

0.360

0.181

0.145

0.091

0.073

0.036

0.018

0.009

259

01

4.53

0.910

0.450

0.180

0.090

0.045

0.036

0.023

0.018

0.009

0.005

0.002

1038

* 用於具有 1 公尺纜線的讀頭。

 

VIONiC™ 數位增量式光學尺   

 

讀頭安裝圖(在RTLC20-S柵尺上)

 

RSLM20 / RELM20固定夾/鉗片固定安裝圖

選配的進階診斷工具 ADTi-100

QUANTiC™, VIONiC™ and ATOM DX™

光學尺系統能相容於進階診斷工具

ADTi-100 和 ADT View 軟體。

這些工具能提供全方位即時光學尺資料回饋，

有利於執行更加艱困的安裝與診斷作業。

直覺式軟體介面可用於下列操作：

  • 遠端校準
  • 監控時速表
  • 匯出與儲存資料
  • 全軸長訊號最佳化
  • 讀頭刻線距離指示
  • 限制與參考原點指示
  • 光學尺位置的數位讀數

（相對於光學尺）

 

 

光學尺選項

光學尺名稱

RTLC20

不鏽鋼帶光學尺

RKLC20

線性和部分弧線光學尺

RSLM 20

不鏽鋼光學尺

RELM20

ZeroMet光學尺

RESM20
不鏽鋼環

光學尺類型

一張含有 設計 的圖片描述是以低可信度自動產生

一張含有 工具, 設計, 剃刀 的圖片自動產生的描述

一張含有 鮮豔, 設計, 藝術 的圖片自動產生的描述

RESM-REST 光學尺（光學尺頁面）

精度

(包括斜度和線性精度）

±5 µm/m

±5 µm/m

5m精度達到±4μm

±1μm/m

刻度精度：±3.97 至 ±0.38 弧秒（依環徑而定）

線性誤差

(可通過兩點誤差修正實現該數值)

±2.5 µm/m

±2.5 µm/m

最大長度

10 m

(可依要求大於10 m)

20 m

(可依要求大於20 m)

5m

1.5m

52 至 550 mm

熱膨脹係數

（20 °C時）

10.1 ±0.2 µm/m/°C

以端蓋固定光學尺尾端時，能符合基板材質

10.1 ±0.2 μm/m/°C

0.75 ±0.35 μm/m/°C

15.5 ±0.5 µm/m/°C

 

 

 
 
RENISHAW(雷尼紹)     V2B, V2C系列
 
VIONiC 增量式光學尺系統 安裝影片 原廠網址
 
 
VIONiC 增量式光學尺系統
 
 
 
超精巧all-in-one 讀頭設計
結合訊號細分和數位訊號處理於一體的光學尺系統，
讀頭直接輸出數位訊號，免除額外連接介面的需要
 
 
先進動態訊號處理技術
提昇系統整體規格表現、精度、超低細分誤差和
RMS 抖動分別低於10 nm 和 1.6 nm
 
 
第三代光學濾波技術
實現優異的抗污能力和消除系統雜訊抖動
 
 
 
 
全新all-in-one VIONiCTM 系列光學尺系統，把光學濾波，
訊號細分和數位訊號處理完美結合！
全新all-in-one VONiC 高性能增量式光學尺系列整合Renishaw 獨有的先進光學濾波和訊
號細分技術，讀頭直接輸出數位訊號，免除額外連接轉換頭或分離式介面的繁瑣。
VIONiC 的規格足以滿足市場上要求高端嚴謹的應用，包括一些追求高精度，高速度
和精密動態運動控制的應用。
VIONiC 提供兩種型號選擇，標準VIONiC 設計用於中高端應用，VIONiCplusTM 則針
對要求高端嚴謹的應用。兩款VIONiC 讀頭均兼容一系列不同規格與特性的線性和環
形光學尺，讓工程師在設計機台時有更大的靈活性。 如Renishaw 其他光學尺系列一
樣，VIONiC 光學尺也提供寬鬆的安裝公差和自動校正功能，使安裝得以輕鬆完成。
系統特性：
追求更高速度 ?
VIONiC 讀頭在最高時脈頻率( 計數器速度:50MHz) 輸出的正交訊號差分最短間隔僅
25.3ns，容許在高解析度下進行高速定位置回饋。
追求更高精度 ?
VIONC 兼容一系列線性和環形光學尺，包括精度達±1um/m 的低膨脹殷鋼尺和精度
達±1 弧秒的環形光學尺等。
追求更優秀的運動控制 ?
VIONiCplus 採用Renishaw 最新的細分演算法和訊號處理技術以獲取低於10nm 的超
低細分誤差。低細分誤差意味著更低的速度漣波(Velocity Ripple)，對要求平穩速度控
制的應用尤其重要，如掃瞄量測系統。VIONiCplus 智能晶片可提供8000 倍的細分，
相當於讀頭直接輸出解析度達2.5 nm 的數位訊號，是同時要求高精度和高重複性定位
系統的不二之選。
產品規格:
• 精巧讀頭設計 ( 尺寸僅35 x 13.5 x 10 mm)
• 兼容線性和環形光學尺，提供IN-TRAC 雙向自動調相參考原點
• 第三代光學濾波技術大幅減少系統雜訊( 抖動)
• 動態訊號處理功能提供超低電子細分誤差:
  - VIONiC : <±30 nm
  - VIONiCplus : < ±10 nm
• 高精度:
  - VIONiC 解析度範圍 : 5 μm 至 20 nm
  - VIONiCplus 解析度範圍 : 0.1 μm 至 2.5 nm
• 自動增益控制，自動平衡控制和自動偏移量控制確保長遠的訊號穩定性
• 配置安裝LED，讓用戶輕鬆完成安裝和診斷
• 最高工作速度達12m/s ( 在 0.1 μm 解析度情況下，速度為3.63 m/s)
• 內置雙限位 ( 僅限線性光學尺)
• 最高工作溫度達 70oC
 
 
    

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