TONiC™ 光學尺系列
PDF下載: TONiCTM Data sheet
原廠網址: https://www.renishaw.com.tw/tw/tonic-encoder-series--37824
TONiC 系列是 Renishaw 的超輕巧型非接觸增量式光學尺系統,如與 Ti 介面結合,在線性和旋轉應用中,均可達到 10 m/s 的速度和低至 1 nm 的解析度。TONiC 系統安裝快速簡便,提供寬鬆的安裝公差,按下按鈕即可進行校正。TONiC 光學尺的動態訊號處理功能可改善訊號穩定性,維持一般小於 ±30 nm 的超低細分誤差,有助於實現優異的運動控制效能。
此外,還有 2 種更針對應用方式的版本:
TONiC UHV 將增量式光學尺技術用於精細至10-10 陶爾的超高真空應用,滿足緊密形態係數和高效能需求。
TONiC FS(功能安全)通過功能安全應用的 SIL2 及 PLd 認證。
光學尺選項
▪磁性尺用於須取得直線位置資訊的應用中,通常為 X、Y 及 Z 軸。
▪旋轉光學尺用來取得角度位置資訊及旋轉元件的運動控制。
不鏽鋼光學尺與選購的軌道
光學尺名稱 |
精度 |
光學尺柵距 |
熱膨脹係數 (20 °C 時) |
供應長度 |
讀頭相容性 |
RTLC20 與選購的 FASTRACK™
|
±5 µm/m |
20 µm |
10.1 ±0.2 µm/m/°C |
長達 10 m (可依要求大於 10 m) |
精細不鏽鋼捲尺
光學尺名稱 |
精度 |
光學尺柵距 |
熱膨脹係數 |
供應長度 |
讀頭相容性 |
RKLC20-S
|
±5 μm/m |
20 µm |
以端蓋固定光學尺尾端時 ,能符合基板材質 |
長達 20 m (可依要求大於 20 m) |
ZeroMet™ 光學尺
光學尺名稱 |
精度 |
光學尺柵距 |
熱膨脹係數 (20 °C 時) |
供應長度 |
讀頭相容性 |
RELM20/RELE20
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±1 µm用於最多1 m ,則 ±1 µm/m |
20 µm |
0.75 ±0.35 µm/m/°C |
最長達 1.5 m |
不鏽鋼光學尺
光學尺名稱 |
精度 |
光學尺柵距 |
熱膨脹係數 (20 °C 時) |
供應長度 |
讀頭相容性 |
RSLM20/RSLE20/RSLC20
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±1.5 μm 達到 1 m、 ±2.25 μm 達到 2 m、 ±3 μm 達到 3 m、 ±4 μm 達到 5 m |
20 µm |
10.1 ±0.2 µm/m/°C |
最長達 5 m |
鍍金鋼帶
光學尺名稱 |
精度 |
光學尺柵距 |
熱膨脹係數 |
供應長度 |
讀頭相容性 |
RGSZ20/RGSN20
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±15 µm/m |
20 µm |
以光學尺端蓋加熱固定於基材 |
長達 50 m (50 m 以上請洽 Renishaw) |
不鏽鋼環
光學尺名稱 |
刻線精度 (視鋼環的直徑而定) |
光學尺柵距 |
熱膨脹係數 (20 °C 時) |
環外徑 |
讀頭相容性 |
RESM20/REST20
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±3.97 to ±0.38 弧秒 |
20 µm |
15.5 ±0.5 μm/m/°C |
52 至 550 mm |
超高精度不鏽鋼環
光學尺名稱 |
安裝精度 (視鋼環的直徑而定) |
光學尺柵距 |
熱膨脹係數 (20 °C 時) |
環外徑 |
讀頭相容性 |
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(≥100 mm 直徑) ±1 弧秒 |
20 µm |
15.5 ±0.5 µm/m/°C |
52 至 417 mm |