Mechanical Rotary Stages

交叉滾柱軸承旋轉平台

ALIO 的機械軸承旋轉台採用交叉滾子軸承設計，以提高偏置負載的剛度和旋轉

精度。與伺服扭矩無框電機集成，這些平台可以處理質量和加速度需求極端的

應用，同時仍保持奈米級精度性能。ALIO 在其旋轉產品線的製造中絕對專注於

材料和加工，確保軸承和金屬位於超加工平行表面，如所有階段的加工平台

所示。使用 ALIO 提供的運動控制器，標準 ALIO 旋轉平台具有 0.2 弧秒的可

重複性。標準機械交叉滾子軸承的額定徑向和軸向跳動為 13 至 20 微米，

某些型號的可選跳動低於 5 微米。機械軸承旋轉台系列具有多種電機尺寸，

可滿足直徑為 80 毫米至 300 毫米的佔空比以及質量和加速度需求。內徑提供

真空旋轉接頭選項，用於安裝真空卡盤。

Air Bearing Rotational Stages

空氣軸承旋轉平台

如對跳動要求非常嚴格，用戶可從我們日漸豐富的氣浮導軌旋轉平臺中選擇相應

產品。無論是要求特別的剛度還是更注重成本，ALIO均可提供各種配置以滿足當

今的奈米精度應用。

真空應用旋轉平台

早在2001年，ALIO已開發出壓電伺服旋轉平臺。現有適用于大氣以及超高真空

應用的平臺，可根據不同的扭矩和精度進行配置，直徑範圍可從50毫米到200

毫米。