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防爆/防水/真空/
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應用案例影片
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庫存出清
ALIO奈米級精密定位平台
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奈米級精密定位平台 |
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高精度交叉滾柱導軌，無鐵芯線性馬達驅動 |
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區分LM高性能、CM省空間系列 |
行 程 |
30mm - 300 mm |
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性 能 規 格 |
標準、ULTRA、NANO |
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線性位移精度 |
+/- 6.0 +/- 0.2 µm |
雙向線性重複性 |
+/- 30 nm |
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Y軸、Z軸直線度 |
+/- 8.0 µm，最高+/- 1.0 µm |
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X、Y、Z角度誤差 |
+/- 12.0 +/- 15.0 arc-sec |
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提供類比/數位增量式or ZeroMet光學尺規格選配 |
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高精度交叉滾柱導軌，無鐵芯線性馬達驅動 |
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區分LM高性能、CM省空間系列 |
行 程 |
30 - 400 mm |
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性 能 規 格 |
標準、ULTRA、NANO |
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線性位移精度 |
+/- 12.0 +/- 0.2 µm |
雙向線性重複性 |
+/- 30 nm |
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|
直 線 度 |
+/- 10.0 +/- 0.2 µm |
平 面 度 |
+/- 10.0 +/- 1.0 µm |
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|
PITCH/YAW/ROLL 誤 差 |
+/- 12.0 +/- 20.0 arc-sec |
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|
正 交 性 |
+/- 1.0 +/- 20.0 arc-sec |
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|
高精度交叉滾柱導軌，無鐵芯線性馬達驅動 |
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|
區分LM高性能、CM省空間系列 |
行 程 |
30 - 400 mm |
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|
性 能 規 格 |
標準、ULTRA、NANO |
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線性位移精度 |
+/- 16.0 +/- 0.3 µm |
雙向線性重複性 |
+/- 50 nm |
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直 線 度 |
+/- 10.0 +/- 0.3 µm |
平 面 度 |
+/- 12.0 +/- 1.0 µm |
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|
PITCH/YAW/ROLL 誤 差 |
+/- 10.0 +/- 20.0 arc-sec |
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|
正 交 性 |
+/- 1.0 +/- 20.0 arc-sec |
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低成本、高精度、長行程線性平台 |
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無鐵芯線性馬達驅動 |
行 程 |
100 - 1000 mm |
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性 能 規 格 |
標準、ULTRA、NANO |
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線性位移精度 |
+/-200.0 +/- 1.0 µm |
雙向線性重複性 |
+/- 0.5 µm |
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有 效 負 載 |
最高可達100 kg |
加 速 度 |
2.0 G -4.0 G |
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直 線 度 |
+/- 50.0 +/- 3 µm |
平 面 度 |
+/- 200.0 +/- 3 µm |
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適用於Cartesian龍門系統 |
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交叉滾柱軸承 |
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直驅力矩馬達驅動 |
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性 能 規 格 |
標準、ULTRA、NANO |
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連 續 推 力 |
0.21 15.16 Nm |
瞬 間 推 力 |
0.66 - 48.12 Nm |
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連 續 電 流 |
2.31 - 6.06 Arms |
瞬 間 電 流 |
7.31 19.14 Arms |
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精 度 |
+/- 3 arc-sec |
雙向重複性 |
+/- 0.7 +/- 0.2 arc-sec |
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軸向/徑向偏差 |
+/- 7.5 +/- 1.5 µm |
擺 動 偏 差 |
+/- 12.5 +/- 2.5arc-sec |
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奈米級精密定位平台 |
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組件配重對稱平台中心線設計 |
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音圈或線性馬達驅動 |
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行 程 |
6、24 mm，30、50 mm |
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性 能 規 格 |
標準、ULTRA、NANO |
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|
線性位移精度 |
+/- 6.0 +/- 0.2 µm |
雙向線性重複性 |
+/- 30 nm |
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|
X軸、Y軸直線度 |
+/- 5.0 um，最高+/- 1.0 µm |
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X、Y、Z角度誤差 |
+/- 10.0 +/- 12.0 arc-sec |
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空氣軸承專利設計，組件配重對稱平台中心線設計 |
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無鐵芯線性馬達驅動 |
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行 程 |
60 200 mm |
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性 能 規 格 |
標準、ULTRA、NANO |
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線性位移精度 |
+/- 3.0 +/- 0.2 µm |
雙向線性重複性 |
+/- 75、45 nm |
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X軸、Y軸直線度 |
+/- 3.0 um，最高+/- 1.0 µm |
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X、Y、Z角度誤差 |
+/- 4.0 +/- 15.0 arc-sec |
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6個自由度專利設計(X/Y/Z,Pitch,Roll,Yaw) |
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結合XY軸及旋轉精密定位平台，無鐵芯線性馬達和直驅力矩馬達驅動 |
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X軸、Y軸行程 |
100-300 mm |
Z軸行程 |
6-206 mm |
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Pitch、Roll角度移動量 |
+/- 3° +/- 18° |
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Yaw角度移動量 |
360° |
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線性分辨率 |
~5 nm |
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角度分辨率 |
0.01–0.04 arc-sec |
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